臭氧发生器工作原理是当含氧气的气体通过两个电极间的放电间隙时，部分氧气分子(O2)会被转化为臭氧(O3)从而实现臭氧制备。当高压电极上带有变化的高电压时，电极之间的放电间隙处会产生微放电，氧气分子被分解为自由态的氧原子O，部分自由态的氧原子与未分解的氧气分子重新结合生成臭氧(O3)即 O+O2=O3，被称为“电晕放电"或“无声放电"。事实上施加在电极上的电能只有一部分用于制备臭氧，制备过程中同时还会产生热量，需要通过冷却水来有效冷却臭氧发生模块。臭氧制备过程受原料气的质量和冷却水的温度影响比较显著，温度越低，臭氧制备效率越高。